进行论文文献综述查重时，首先要明确查重的目的和标准。可以借助专业的查重软件，如Turnitin、iThenticate等进行查重。在查重过程中，需要注意文献引用的格式和规范，避免误判。另外，及时保存查重报告，以备日后需要。

除了使用查重软件，还可以通过手动检查的方式进行论文文献综述查重。逐段比对原文和自己的文献综述，注意核对引用部分的准确性和完整性。同时，可以借助一些在线工具辅助检查，如文献相似度检测工具等。在查重过程中，保持谨慎和细致，确保文献综述的原创性和学术性。