进行论文文献综述查重时，首先要认真阅读原文，理解其主旨和论证过程。然后，利用查重软件对文献进行查重，确保没有抄袭和重复内容。此外，还要注意引用格式和标注规范，避免学术不端行为。在撰写综述时，要注重文献引用的准确性和完整性，避免遗漏重要信息。同时，对于已有的研究成果要进行客观评价，避免出现学术不端行为。

除了利用查重软件进行文献综述查重外，还可以采用手工查重的方式，通过比对原文和自己的综述，找出重复和抄袭内容。此外，还可以请教导师或有经验的同行进行审阅，及时发现和纠正问题。在撰写综述时，要注重逻辑性和结构性，避免内容重复和抄袭。同时，要遵守学术规范，尊重他人的知识产权，防范学术不端行为。