进行论文文献综述查重时，首先应选择专业的查重软件进行检测。其次，需要注意文献的引用格式和标注规范，确保文献综述的准确性和规范性。同时，应注意避免过多引用他人观点，保持研究的独立性。此外，还应关注文献的来源和权威性，避免引用低质量或抄袭内容。

除了利用专业查重软件进行文献综述查重外，还可以采用人工核对的方式，逐一比对文献内容，确保文献的原创性和独立性。此外，对于重要观点和结论，建议进行深入分析和独立思考，展现学术研究的独立性和深度。在文献综述中，还应注重对参考文献的分析和综合，展现对学术研究领域的深入理解和独特见解。